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PLR3000工業(yè)激光尺測(cè)量?jī)x具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。可根據(jù)用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量

PLR3000超高分辨率激光尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

PLR3000高精準(zhǔn)度激光尺測(cè)量?jī)x支持單軸至多軸測(cè)量。相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

PLR3000光纖激光尺測(cè)量?jī)x分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

PLR3000精密激光尺測(cè)量?jī)x分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

PLR3000激光尺測(cè)量?jī)x是新一代高精度位置檢測(cè)設(shè)備，基于激光干涉測(cè)量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。