應(yīng)用

1、在數(shù)控機(jī)床檢定中的應(yīng)用

中圖儀器SJ6000金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測量，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。軟件內(nèi)置10項(xiàng)常用機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)。使用激光干涉儀檢測機(jī)床各項(xiàng)誤差并進(jìn)行修正是傳統(tǒng)測量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)，是大幅度提高數(shù)控機(jī)床的加工精度的關(guān)鍵措施。

2、在三坐標(biāo)檢測中的應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標(biāo)測量機(jī)的位移精度、直線度、垂直度。隨著當(dāng)代制造業(yè)對加工速度的要求提升，三坐標(biāo)測量機(jī)各結(jié)構(gòu)件由于高速運(yùn)行產(chǎn)生機(jī)構(gòu)變形，導(dǎo)致的動(dòng)態(tài)誤差不可忽略。使用激光干涉儀對三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)行靜態(tài)誤差、動(dòng)態(tài)誤差測量和補(bǔ)償，對提升測量精度具有重要意義。

3、在位移傳感器中的應(yīng)用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定為發(fā)展趨勢，其特點(diǎn)是反應(yīng)速度快、測量精度高，是位移傳感器實(shí)現(xiàn)高精度校準(zhǔn)的重要手段。

4、與其他鏡組配合的應(yīng)用

SJ6000金屬平面激光干涉儀品牌與不同光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)距離、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)的測量，具有高精度、效率高。

測量方法

1、進(jìn)行線性測量的一般步驟 ：

 （1）安裝設(shè)置激光干涉儀

 （2）將激光束與被測量的軸校準(zhǔn)

 （3）啟動(dòng)測量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。

 （4）在機(jī)床上輸入測量程序，啟動(dòng)干涉儀測量，并記錄數(shù)據(jù)。

 （5）用測量軟件分析測量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補(bǔ)償文件。

2、光束快速準(zhǔn)直步驟 ：

 （1）沿著運(yùn)動(dòng)軸將反射鏡與干涉鏡分開。

 （2）移動(dòng)機(jī)床工作臺，當(dāng)光束離開光靶外圓時(shí)停止移動(dòng)。

垂直光束調(diào)整：

 （3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。

 （4）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn)，直到兩道光束都擊中光靶中心。

水平光束調(diào)整：

 （5）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，使兩道光束彼此重疊。

 （6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。

 （7）沿著運(yùn)動(dòng)軸重新開始移動(dòng)機(jī)床工作臺。在看到光束移開光靶時(shí)再次停止。重復(fù)步驟3到6，直到完成整個(gè)軸向的光鏡準(zhǔn)直。

 （8）達(dá)到軸的末端時(shí)，將機(jī)床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動(dòng)反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。

 重復(fù)步驟1到8，直到兩道光束在整個(gè)運(yùn)動(dòng)軸長度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。

 （9）保持光束和測量軸準(zhǔn)直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測量位置。當(dāng)反光鏡沿著機(jī)床的整個(gè)運(yùn)動(dòng)長度移動(dòng)時(shí)，檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號強(qiáng)度。