現(xiàn)有的光學(xué)非接觸測量方法難以完成高反射曲面零件的三維形貌高精度測量，已經(jīng)難以滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化需求。中圖三維光學(xué)表面輪廓儀品牌采用白光軸向色差原理，利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成，是一種用于對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維檢測的精密儀器，它的特點(diǎn)是可以達(dá)到納米級(jí)的檢測精度。

測量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，可以快速獲取被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測，主要用于成品質(zhì)量的管理，確保良品合格率。

產(chǎn)品參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)配置

技術(shù)指標(biāo)

Superview w1三維表面輪廓儀具有測量精度高、分析功能強(qiáng)大、使用方便、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn)，其*的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。還有雙重防撞防護(hù)：

1、軟件防撞保護(hù) ZSTOP

ZSTOP是是軟件設(shè)置在Z軸上的停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng)，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。

2、Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品，也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。

大多數(shù)的場景中，只需檢測一個(gè)數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域，但在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中，借助中圖儀器SuperView W1三維表面輪廓儀的自動(dòng)拼接功能，就能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量。

超光滑的弧形表面：

粗糙的特征表面：

中圖三維光學(xué)表面輪廓儀品牌可以對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、平面度、面形輪廓、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、表面缺陷、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。